本發明涉及制造在低于或等于1600°c的溫度也可以制成燒結體的氮 化鋁粉末，獲得密度和熱傳導率高、可以適用于基板材料的氮化鋁燒 結體。使用如圖1所示氣相反應裝置，反應器⑵由加熱帶⑴進行加 熱并保持在300?50(TC，一邊由流童調節計(3)調節，一邊通過供給 管(4)向反應器(2)導入氨氣，同時，一邊通過流景調節計(5)調節， 一邊通過供應管(6)導入含有機鋁化合物的氮氣。從而得到氮化鋁粉 末。將其在還原性氣體氛圍和/或惰性氣體氛圍中在1100?1500攝氏度進行熱處理，對所得到氮化鋁凝集粉末再經機械處理，成為比表面積值 大于等于30m/g、且平均粒子粒徑與比表面積換算的粒子粒徑的比率 小于等于10的氮化鋁粉末。